洛阳成特气体有限公司：特种稀有气体的高效回收提纯工艺技术开发与循环利用

氦气、氖气、氪气等特种稀有气体，是航天航空、高端医疗、科研实验领域不可或缺的关键物资，这些气体在自然界中的储量极其稀少，价格长期居高不下，很多用户使用一次后就直接排空，不仅造成巨大的资源浪费，还大幅推高了企业的用气成本。洛阳成特气体有限公司针对特种稀有气体的回收痛点，自主开发高效回收提纯循环利用工艺，可将用户排放的废气体中的稀有气体回收率提升至95%以上，提纯后的产品纯度达到6N级，帮助用户的特种稀有气体采购成本降低70%以上，走出了一条稀有气体绿色循环的技术路线。

传统的稀有气体回收工艺，普遍存在回收率低、杂质脱除难度大的问题，比如核磁共振设备使用后的废氦气，里面混合了大量的空气、水蒸气、油气杂质，常规工艺很难把这些杂质彻底分离，回收后的氦气纯度不足90%，根本无法再次投入使用。洛阳成特气体有限公司的技术团队研发出“预净化+膜分离+低温精馏”的组合回收工艺，首先通过预净化单元脱除废气中的99%以上的水、油、固体颗粒杂质，再利用高性能的中空纤维分离膜，把氦气和空气中的氮气、氧气进行初步分离，最后通过高精度的低温精馏塔，实现氦气与微量残留杂质的深度分离。整套工艺的氦气回收率可达96%，提纯后的氦气纯度稳定达到99.9999%，完全可以直接返回核磁共振设备再次使用。在为洛阳某三甲医院提供的氦气回收项目中，系统投用后，医院每年的液氦采购量从原来的1200升降至300升，每年节省采购费用超过180万元，项目投资回收期仅为14个月。

针对半导体制造过程中排放的含氖、氪的特种尾气，洛阳成特气体有限公司专门开发了低浓度稀有气体富集技术。半导体刻蚀工序排放的尾气中，稀有气体的浓度通常低于5%，传统回收工艺需要消耗大量能源才能完成富集，经济性极差。公司技术团队创新性采用变温吸附+多级精馏的耦合富集工艺，通过自主研发的专用吸附剂，在低温环境下选择性吸附尾气中的稀有气体组分，再通过阶梯式升温解吸，将稀有气体的浓度从5%富集到90%以上，后续再经过深度提纯工序就能得到合格的高纯产品。这套技术的单位产品能耗比传统工艺降低65%，解决了低浓度稀有气体回收经济性差的行业难题。目前洛阳成特气体已经为国内多家头部芯片制造企业搭建了稀有气体回收系统，每年帮助企业回收的稀有气体总量超过10万立方米，相当于减少了近百吨的稀有气体资源浪费。

为了适配不同用户的差异化回收需求，洛阳成特气体有限公司开发了模块化的稀有气体回收装备。不同于传统的大型固定回收装置，模块化装备可以根据用户的废气排放量灵活组合，占地面积仅为传统装置的30%，可以直接部署在用户的生产车间内，不需要建设专门的回收厂房，大幅降低了用户的前期投入成本。同时装备搭载了智能远程运维系统，洛阳成特的技术人员可以远程实时监控设备的运行状态，定期上门完成维护保养，用户不需要配备专门的稀有气体运维人员，就能轻松实现废气的循环回收。目前洛阳成特气体的特种稀有气体回收技术已经在全国40余家医疗、半导体、科研单位落地应用，累计回收稀有气体超过80万立方米，不仅帮助用户大幅降低了用气成本，也为我国稀有气体资源的高效利用提供了关键的技术支撑。